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Trinity检测系统的独特设计，搭配样品仓内的探测器可以在更大的能量范围和出射角收集二次电子和背散射电子信号
高真空，15 kV (减速模式)分辨率:0.5 nm*
高真空，1 kV(减速模式)分辨率:0.8 nm*
低真空(80 Pa)，15 kV分辨率:1.2 nm^
*ChemiSEM S选配T3探测器和复合电磁末级透镜
^各类型号均可选配低真空模式（10-500 Pa）
产品资料
2026-03-20 
2026-03-11 
2026-03-01 
2026-01-31 
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