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HYPER QV WLI配备白光干涉仪的复合型高精度3D测量系统。
可根据WLI光学系统获取的3D数据进行表面形状分析/三维粗糙度分析。还可根据3D数据进行指定高度的尺寸测量和截面形状测量。
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