超高精度三坐标测量机

LEGEX系列是初项达0.28μm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或最大程度地降低其影响。

● 本体底座部分严选材料，采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析模拟进行彻底的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。此外，还引入了各种技术来实现超高精度，如驱动单元的结构和振动对策等。

● 用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度测量单元（自社开发），该单元采用热膨胀系数为≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射线性编码器的组合，具有极高的位置检测能力，可实现超高精度的机器控制功能。此外，提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持各种工件轻松实现高精度测量。

● 初项精度：0.28μm~